KOMPOZYTY (COMPOSITES) 4(2004)12

Wadysaw Wosiski
1
, Wiesawa Olesiska
2
, Andrzej Jagoda
3

Instytut Technologii Materiaw Elektronicznych, ul. Wlczyska 133, 01-919 Warszawa
SPAJANIE CERAMIKI SiC I KOMPOZYTW Al2O3-SiC Z METALAMI
Przedstawiono wyniki bada nad spajaniem ceramiki SiC i kompozytw korundowo-wglikowych, ktrych powierzchni ak-
tywowano tytanem, chromem i miedzi. Tytan i chrom nakadano technik sputteringu, mied nakadano metod elektroche-
miczn. Badano mikrostruktur wytworzonych warstw i zczy SiC-Mo i Al2O3-SiC/FeNi42 spajanych lutem CuMn12Ni3 i mie-
dzi w atmosferze azotu oraz wytrzymao mechaniczn. Badania zczy, w ktrych powierzchnia ceramiki aktywowana bya
rwnie chromem, nie wykazay defektw mechanicznych powstajcych w procesie spajania, powierzchnia ceramiki pokryta by-
a cig warstw lutu. Analiza fazowa powierzchni zczowej wykonana metod dyfrakcji rentgenowskiej wykazaa obecno faz
MeSiC. Wytrzymao mechaniczna zczy lutowanych z ceramik, ktrej powierzchnia bya modyfikowana warstwami Ti, Cr i
Cu, jest wystarczajca dla aplikacji elektronicznych.
Sowa kluczowe: zcza ceramika-metal, spajanie SiC/Mo and Al2O3-SiC/FeNi42, warstwy barierowe
THE JOINING CERAMIC SiC AND COMPOSITE Al2O3-SiC TO METALS
The paper presents the results of studies on joining SiC ceramics and Al2O3-SiC with the ceramic surface being activated by
titanium, chromium or copper. Titanium and chromium were deposited by the sputtering technique, and copper - by the electro-
chemical method. The microstructures of the SiC/Mo and Al2O3-SiC/FeNi42 joints brazed with the CuMn12Ni3 solder and cop-
per in a nitrogen atmosphere were examined and the results discussed. The presented paper includes the results:
- diffraction pattern of sintered layers (Tab. 1, Fig. 1),
- microstructures of the joints SiC/Mo and Al2O3-SiC/FeNi42 (Figs. 3-5, 7),
- mechanical strength of the joints (Tab. 2, Fig. 6).
The joints, in which the ceramic surface was activated in addition with chromium, do not contain mechanical defects caused
by the joining process, and the ceramic surface is covered with a continuous layer of the solder. A phase analysis
of the interface surface identified a MeSiC phase. The lowest number of new phases was observed in the case of SiC
ceramics with chromium and titanium layers. Besides TiC, Ti3SiC2 and Cr2C phases were identified. The amount of the new dis-
persive phases is rising in the presence of manganese. High mechanical strength was obtained only for joints with
the layers containing chromium and titanium. SiC/Mo and Al2O3-SiC/FeNi42 joints soldered by the layers with chromium and
titanium have continues and compact microstructures on all the length of the joint. There was obtained a barrier layer
in the SiC ceramics (Fig. 2). The thickness of the barrier of Ti3SiC2 was about 1 m. The ternary of Ti3SiC2 compound shows a
combination of properties that is unparalleled among ceramic materials (Fig. 9). In the joining processes, it is advantageous
when the interface formed on the ceramics contains high plasticity phases, since they enable relaxing the thermal stresses gen-
erated when joining the materials with greatly differing thermal properties. There were no new phases on the surface of com-
posite ceramics. The surface with a chromium layer was wetted very well by the solder, which was similar to
the behaviour of silicon nitride ceramics (Fig. 8). For electronic application the mechanical strength of the joints is sufficient.
Key words: ceramic coatings, joining SiC/Mo and Al2O3-SiC/FeNi42, active metal braze

1
prof. dr hab. in.,
2
dr in.,
3
mgr in.
WPROWADZENIE
Brak zwilalnoci ceramiki przez cieke metale sta-
nowi znaczn trudno przy spajaniu tych materiaw.
Spajanie ceramik tlenkowych najczciej wykonuje si
przez fazy tlenkowe wprowadzone lub syntetyzowane w
procesie wytwarzania. Zapewniaj one zwilalno
ceramiki i w okrelonych warunkach fizykochemicznych
zwilaj rwnie metale. Fazy tlenkowe dodatkowo w
wyniku reakcji mog tworzy struktury wbudowane w
sie krystalograficzn korundu (spinele). Ciga i zwarta
mikrostruktura warstw granicznych spajanych materia-
w gwarantuje dobre waciwoci zcza (prniosz-
czelno, wytrzymao mechaniczn, przewodzenie
ciepa) [1].
Zwilalno ceramiki przez cieke metale uzyskuje
si w procesach reakcyjnych zachodzcych podczas
spajania. Jednak procesy te mog powodowa w war-
stwie granicznej dekompozycj skadnikw podoa.
Zjawisko to jest niekorzystne szczeglnie dla ceramik
nietlenkowych: azotkowych, wglikowych. W tym przy-
padku problem spajania z metalami dotyczy nie tylko
uzyskania zwilalnoci ceramiki przez luty, ale rwnie
wizania produktw dekompozycji skadnikw podoa.
Zadanie ograniczania dekompozycji i wizania produk-
tw wytworzonych w wyniku tego procesu speniaj
tzw. warstwy barierowe, powstajce w procesie cze-
nia. Dla ceramiki z AlN warstw barierow stanowi

W. Wosiski, W. Olesiska, A. Jagoda

364
TiN, powstajcy podczas spajania aktywnego bd
wysokotemperaturowego spiekania warstw metalicznych
zawierajcych Ti [1, 2]. Dla ceramiki SiC wglik tytanu
TiC, zdaniem autorw [2, 3], nie stanowi warstwy barie-
rowej, poniewa nie zabezpiecza przed dyfuzj aktyw-
nych produktw spajania do powierzchni ceramiki, tym
samym nie chroni jej przed dalsz dekompozycj przez
aktywne skadniki stopw.
Poza tytanem, ktry jest szeroko stosowany w celu
poprawy zwilalnoci materiaw ceramicznych, rw-
nie inne aktywne pierwiastki, m.in. B, Cr, Mn, V i Zr,
dodane do metali korzystnie wpywaj na zwilalno
ceramiki. Autorzy pracy [4] stwierdzili, e dodatek
chromu do stopw Cu, Cu-Ni, Cu-Si i Cu-Ni-Si powo-
duje obnienie kta zwilania przez te luty ceramiki
z azotku krzemu. Chrom w iloci 7% wprowadzony do
miedzi i do stopu CuNi10, wg [4], powoduje spadek kta
zwilania w funkcji czasu do wartoci 40
o
, na po-
wierzchni ceramiki identyfikowano cienk warstw
Cr
2
N. W przypadku stopu CuNi20Si5 dodatek 3%
chromu obnia kt zwilania do 20
o
, natomiast na ce-
ramice identyfikowano faz Cr
2
Si. Wyniki tych bada s
zgodne z diagramem fazowym ukadu Cu-Cr, z ktrego
wynika, e maksymalna rozpuszczalno Cr
w ciekej miedzi w temperaturze 1323 K (1150
o
C) wy-
nosi 1,5% wag. Poprawa zwilalnoci ceramiki z Si
3
N
4

przez cieke metale pozwala ograniczy czas spajania
reaktywnego, tym samym umoliwia ograniczenie pro-
cesu dekompozycji ceramiki.
W pracy badano wpyw tytanu i chromu na spajal-
no ceramiki SiC i kompozytu Al
2
O
3
-SiC z metalami
z wykorzystaniem lutw wysokotemperaturowych.
WYKONANIE PRBEK DO BADA
Badania wykonano na pytkach SiC i na pytkach z
kompozytw ceramiki korundowej z SiC. Stosowano
dwa rodzaje kompozytw: ceramika korundowa typu
lukaloks L-30%SiC oraz ceramika korundowa z dodat-
kiem ZrO
2
K10-30%SiC. Na powierzchnie pytek nao-
ono technik sputteringu warstwy tytanu i warstwy
podwjne chromu i tytanu o gruboci po 0,35 m. Do-
datkowo na powierzchni tytanu nakadano warstw
miedzi metod elektrochemiczn o gruboci 2,5 m.
Badano zwilalno tych warstw przez luty: Cu
i CuMn10Ni2 po spajaniu w atmosferze azotu o zawar-
toci tlenu 1,5 ppm. Zcza spajano ze stopem FeNi42
(kompozyty) i z molibdenem (SiC). Prby rozpywnoci
lutw Cu i CuMn12Ni3 oraz lutowanie zczy wykona-
no w piecu tamowym BTU w atmosferze azotu.
WYNIKI BADA METOD DYFRAKCJI
RENTGENOWSKIEJ
Powierzchnie pytek z SiC i z kompozytu Al
2
O
3
-
-30%SiC z warstwami Ti,Cu; Cr,Ti i Cr,Ti,Cu po bada-
niu rozpywnoci lutw: Cu i CuMn12Ni3 badano meto-
d dyfrakcji rentgenowskiej. Badanie wykonano na dy-
fraktometrze rentgenowskim PW 1840 f-my Philips.
Wyniki bada przedstawiono w tabeli 1 i na rysunku 1.

TABELA 1. Wyniki bada identyfikacyjnych
TABLE 1. X-ray examination results
Ceramika Warstwa Lut Wyniki bada
SiC Ti,Cu Cu,Mn,Ni
C,TiSi, TiSi2, TiC, NiTi, Ni4Ti3,
Cu4Si, Cu3Ti, Ti2Cu3, CuNi2Ti,
NiTiSi, TiSi2, MnTi, Mn5Ti,
Mn5Si2
SiC Cr,Ti Cu
C,TiC, Ti3SiC2, Ti5Si3, CuTi,
CuTi2, Cr2C
SiC Cr,Ti,Cu Cu,Mn,Ni
C,TiSi, TiSi2, Ti3SiC2, Ti5Si3,
TiC, Cr2C, Cu4Si, Cu3Ti,
Cu4Ti, CuTi3, CuNi2Ti, NiTiSi,
NiTi, MnTi, Mn5Ti, Mn5Si2,
Mn5SiC, CrSi2, Mn6Si
K10-30%SiC Ti,Cu Cu,Mn,Ni
Na powierzchni identyfikowana
tylko mied
L-30%SiC Cr,Ti,Cu Cu,Mn,Ni Jak wyej

Najmniejsz ilo nowych faz zarejestrowano dla
SiC z warstwami Cr,Ti, na ktrych stopiono mied. Na
powierzchni pytek kompozytowych zawierajcych
30%SiC (reszta Al
2
O
3
) nie zidentyfikowano adnych
nowych faz.


Rys. 1. Dyfraktogram z powierzchni SiC/Cr,Ti po stopieniu Cu
Fig. 1. Diffraction pattern of surface SiC/Cr,Ti after sintering Cu
Wolny wgiel zidentyfikowano na wszystkich bada-
nych prbkach. Najwysz intensywno miay piki
grafitu na tych prbkach SiC, na ktrych w preparowa-
nych warstwach nie byo chromu (intensywno 20 do
40), nieco mniejsz intensywno (15 do 35) zarejestro-
wano dla warstw Cr,Ti ze stopion miedzi, a najnisz
intensywno (5 do 10) na prbkach z warstwami
Spajanie ceramiki SiC i kompozytw Al2O3-SiC z metalami

365
Cr,Ti,Cu i stopionym lutem CuMnNi. Na pytkach za-
wierajcych Cr zidentyfikowano faz Ti
3
SiC
2
.
W prbkach lutowanych stopem zawierajcym mangan
zidentyfikowano rwnie faz Mn
5
SiC, obecno Mn
znacznie zwiksza reaktywno ciekego stopu.
WYNIKI BADA MIKROSTRUKTURY ZCZY
SiC/Mo I K-SiC/FeNi42
Mikrostruktur przekroju poprzecznego zcza
SiC/Mo przedstawiono na rysunku 2. Na powierzchni
SiC nakadano warstwy: Cr,Ti,Cu, pytki z molibdenu
lutowano stopem CuMn12Ni3. Temperatura spajania
zczy w atmosferze azotu wynosia 1393 K (1120
o
C).
Zcze ma spjn struktur warstwow, zarwno od
strony ceramiki, jak i molibdenu. Na powierzchni SiC
widoczna jest warstwa nowych wydziele fazowych
o gruboci ok. 1 m.

Mo Cu SiC

Rys. 2. Mikrostruktura zczy: SiC/Mo lutowanych Cu, SEM
Fig. 2. Microstructure of joints SiC/Mo brased using Cu solder, SEM
L-SiC Cu

K10-SiC Cu

Rys. 3. Mikrostruktura zczy stop FeNi42 - kompozyt korundowo-wgli-
kowy: a) kompozyt L-30%SiC-lut Cu, b) kompozyt K10-SiC-lut
Cu, SEM
Fig. 3. Microstructure of composite joints: a) L-30%SiC/FeNi42 brased
using the Cu solder, b) K10-SiC/FeNi42 brased using the Cu
solder, SEM
Mikrostruktur zczy kompozyt Al
2
O
3
-SiC przed-
stawiono na rysunku 3.
W przypadku materiaw kompozytowych nie
stwier- dzono powstawania warstwy barierowej na ce-
ramice.
Mapy rozkadw powierzchniowych wykonane z wy-
korzystaniem sondy elektronowej dla obu rodzajw
ceramiki przedstawiono na rysunkach 4 i 5.




Cr
Ti
SiC Mo Cu

Rys. 4. Mapy rozkadw chromu i tytanu w zczu SiC/Mo, SEI
Fig. 4. Maps of the Cr snd Ti surface distributions in joint SiC/Mo, SEI
W. Wosiski, W. Olesiska, A. Jagoda

366



Cr
Ti
LSiC Cu

Rys. 5. Mapy rozkadw Cr i Ti na powierzchni materiau kompozytowego
ceramika korundowa typu L-30%SiC po stopieniu miedzi, SEI
Fig. 5. Surface distribution Cr and Ti in the layer: composite L-30%SiC-Cu
Chrom w zczu obecny by na powierzchniach lutu -
na granicy z ceramik i od strony molibdenu, natomiast
tytan zidentyfikowano tylko na powierzchni ceramiki.
BADANIE WYTRZYMAOCI
NA CINANIE ZCZY
Lutowano zcza jak na rysunku 6:
a) SiC/warstwy Cr,Ti,Cu/lut Cu lub CuMnNi pytki z Mo,
b) kompozyt K10-SiC lub L-SiC/warstwy Cr,Ti/lut Cu
lub CuMnNi/stop FeNi42.
Lutowanie wykonano w piecu tunelowym BTU
w atmosferze azotu. Temperatura lutowania wynosia
1393 K (1120
o
C).
Badania wytrzymaoci mechanicznej na cinanie
wykonano na maszynie wytrzymaociowej FP-100
Heckert, szybko obciania wynosia 3 mm/min.
Wyniki bada (rednie z trzech prbek po odrzuceniu
dwch skrajnych wartoci) przedstawiono w tabeli 2.


Rys. 6. Prbki do bada wytrzymaoci
Fig. 6. Samples used for shear test
TABELA 2. Wyniki bada wytrzymaoci na cinanie zczy
TABLE 2. Results of the mechanical strength

Ceramika/warstwa
met.
Lut
Wytrzyma-
o na
cinanie
kG/cm
2

Uwagi
K10-30%SiC/Ti,Cu
CuMn12
Ni3
146
Zcze zerwane na po-
wierzchni ceramiki, du-
e ilo wgla
L-30%SiC/Ti,Cu Cu 120 Jak wyej
K10-
30%SiC/Cr,Ti,Cu
CuMn12
Ni3
Pow. 253 Zerwany pasek FeNi
L-30%SiC/Cr,Ti,Cu Cu Pow. 160
Zcze zerwane na po-
wierzchni ceramiki
K10/Cr,Ti,Cu Cu Pow. 280 Jak wyej
SiC/Cr,Ti Cu Pow. 300 Jak wyej

Obserwuje si zaleno wytrzymaoci mechanicz-
nej od rodzaju ceramiki (ceramika tlenkowa K10, kom-
pozyt korundowy K10-SiC lub L-SiC), od sposobu
przygotowania jej powierzchni oraz od rodzaju lutu.
Najwysz wytrzymao miay zcza z ceramiki
K10 bez dodatku SiC, nieco nisz zcza ceramiki
kompozytowej K10 z dodatkiem 30%SiC, ktrej po-
wierzchnie modyfikowano tytanem i chromem. Znisz-
czeniu ulega przylutowany pasek ze stopu FeNi42.
Zdecydowanie nisz wytrzymao miay zcza
lutowane z ceramik, na ktr naoono warstwy Ti
i Ti,Cu oraz zcza kompozytu L-30%SiC. Zcza zry-
way si na granicy z ceramik, na powierzchni ceramiki
obecne byy due iloci wolnego wgla.
Zcza SiC, warstwy Cr,Ti lutowane miedzi i sto-
pem CuMn12Ni3 z molibdenem przy odrywaniu ulegaj
zniszczeniu przez ceramik w duej odlegoci od po-
wierzchni spajania.
Podobnie jak w przypadku ceramik kompozytowych
nie mona byo oznaczy ich wytrzymaoci na cinanie
przyjt metod stosowan do oceny zczy ceramika-
-metal do aplikacji elektronicznych.
DYSKUSJA WYNIKW
Wykonano porwnawcze badania spajania materia-
w kompozytowych Al
2
O
3
-SiC i ceramiki SiC. W celu
uzyskania zwilalnoci powierzchni badanych ceramik
przez luty wysokotemperaturowe Cu, CuMn12Ni3 na
powierzchnie badanych materiaw nakadano technik
sputteringu warstwy Ti i Cr,Ti. Grubo warstw wynosi-
a ok. 0,35 m. W atmosferze azotu na tak przygotowa-
nej powierzchni luty Cu i CuMn12Ni3 topiy si
w pkul, na powierzchni widoczne byy nieznaczne
zmiany spowodowane rozpywaniem si lutu (rys. 8).

Spajanie ceramiki SiC i kompozytw Al2O3-SiC z metalami

367



Rys. 7. Mikrostruktura stopionej miedzi na powierzchni SiC/Cr,Ti, SEM
Fig. 7. Microstructure of the copper layer sintered on SiC/Cr,Ti, SEM
Aby poprawi rozpywno lutw w atmosferze azo-
tu (zawarto tlenu 1,5 ppm), na powierzchnie pytek
z warstwami Ti i Cr,Ti naoono metod galwaniczn
warstw miedzi. Na warstwach Ti,Cu wykonanych na
ceramice SiC i kompozytach lut CuMn12Ni3 rozpywa
si po caej powierzchni, ale stopiona warstwa metalicz-
na atwo oddzielaa si od podoa. Na powierzchni
ceramiki widoczne byy rnorodne wydzielenia fazowe
i wolny grafit.
Warstwy Cr,Ti,Cu byy bardzo dobrze zwilane
przez Cu i CuMn12Ni3 (lut rozpywa si po caej po-
wierzchni), warstwy metaliczne byy spjne z podoem,
a zcza materiaw kompozytowych ze stopem FeNi42
i zcza SiC z Mo lutowane miedzi i lutem
CuMn12Ni3 miay bardzo wysok wytrzymao me-
chaniczn.
W literaturze nie ma szczegowych danych doty-
czcych zwilalnoci ceramiki z SiC przez luty. Opisana
jest zwilalno ceramiki z azotku krzemu, zaleno
kta zwilania tej ceramiki przez luty w zalenoci od
iloci chromu przedstawiono na rysunku 8 [5].

0,0
20,0
40,0
60,0
80,0
100,0
120,0
140,0
160,0
0,0 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0
X%Cr
K

t

z
w
i
l

a
n
i
a
,

(
o
)
Cu-3,5%Si-x%Cr
Cu-10%Ni-5%Si-x%Cr
Cu- x%Cr

Rys. 8. Wpyw dodatku chromu na kt zwilania ceramiki z azotku
krzemu
Fig. 8. Experimental contact angle values of Cu-Ni-Si alloys on Si3N4 a
function of x%Cr
Powierzchni SiC i materiaw kompozytowych
z naoonymi warstwami po stopieniu lutw poddano
badaniom mikrostrukturalnym i identyfikacyjnym.
Najmniejsz ilo wydziele fazowych zaobserwo-
wano dla warstw Cr,Ti po stopieniu Cu. We wszystkich
warstwach stwierdzono obecno grafitu w ilociach
wikszych ni w prbkach wyjciowych oraz TiC,
a w warstwach zawierajcych chrom: Cr
2
C, Ti
3
SiC
2

oraz Mn
5
SiC. Stwierdzono rwnie rnice intensywno-
ci wolnego wgla w zalenoci od skadu warstwy
metalicznej. Najwysz intensywno miay piki grafitu
na tych prbkach SiC, na ktrych w preparowanych
warstwach nie byo chromu (20 do 40), nieco mniejsz
intensywno (15 do 35) zarejestrowano dla warstw
Ti,Cr ze stopion miedzi, a najnisz intensywno
(5 do 10) na prbkach z warstwami Ti,Cr,Cu ze stopio-
nym lutem CuMn12Ni3. Intensywno pikw TiC
i Ti
3
SiC
2
we wszystkich prbkach bya zbliona.
W warstwach zawierajcych mangan wystpuj dwa
zwizki z wglikiem krzemu Ti
3
SiC
2
i Mn
5
SiC.
Nie uzyskano czytelnych dyfraktogramw dla
materiaw kompozytowych Al
2
O
3
-30%SiC. W tym
przypadku zarejestrowano jedynie przesunite piki mie-
dzi.
W warstwach niezawierajcych chromu wytworzony
wglik tytanu nie zabezpiecza przed dekompozycj
ceramiki z SiC, po stopieniu lutw na powierzchni ob-
serwuje si znaczne iloci wolnego wgla. Podobne
zjawisko zauwayli autorzy pracy [2], zidentyfikowana
przez nich warstwa TiC wytworzona w procesie aktyw-
nego lutowania stopem CuTi5 w prni nie ograniczaa
dyfuzji miedzi do powierzchni SiC i nie zabezpieczaa
powierzchni ceramiki przed dalsz dekompozycj.
Mapy rozkadw powierzchniowych pierwiastkw
potwierdziy, e poprawa zwilalnoci ceramiki przez
stopy metaliczne zawierajce chrom zwizana jest, jak
podaj autorzy [5], z segregacj skupisk niestechiome-
trycznych zwizkw Cr na granicy fazy staej i ciekej.
W przypadku badanych zczy stwierdzono niezalenie
W. Wosiski, W. Olesiska, A. Jagoda

368
od rodzaju ceramiki okrelon segregacj chromu
i tytanu: chrom gromadzi si na powierzchni lutu
(rys. 4), natomiast tytan tylko na powierzchni ceramiki.
W stopionych na pytkach SiC warstwach metalicz-
nych zawierajcych chrom i lut z manganem metod
dyfrakcji rentgenowskiej stwierdzono wystpowanie faz
Ti
3
SiC
2
oraz Mn
5
SiC. Przyczepno warstw metalicz-
nych zawierajcych te fazy bya wysoka, wysoka bya
rwnie wytrzymao mechaniczna spajanych z nimi
zczy. Z dyfraktogramw wynika, e w obecnoci Mn
w stopie metalicznym ilo wolnego wgla na badanej
powierzchni jest najnisza.
Naley przypuszcza, e fazy Me-SiC odgrywaj
decydujc rol przy spajaniu ceramiki SiC z metalami.
Otrzymane wyniki s zgodne z badaniami autorw [5, 6]
nad ukadami Me-Si-C i Me-Si-N. W pracy [5] podczas
dyfuzyjnego spajania wysokocinieniowego ceramiki
SiC-SiC przez warstw Ti w temperaturze 15231723
K (12501500
o
C) przy cinieniu 30 MPa uzyskano
cig warstw skadajc si w 90%
z Ti
3
SiC
2
i TiC
1-x
, Ti
5
Si
3
i TiSi
2
.
Warunki syntezy zwizku Ti
3
SiC
2
w ukadzie trj-
skadnikowym Ti,Si,C badali rwnie autorzy [6, 7],
prawdopodobny przebieg reakcji w atmosferze argonu
autorzy pracy [7] opisali rwnaniami:
3Ti + SiC + C 4/3TiC
x
+ 1/3Ti
5
Si
3
C
y

4/3TiC
x
+ 1/3Ti
5
Si
3
C
y
+ C Ti
3
SiC
2

Wykonane badania fazowe wykazay, e synteza
Ti
3
SiC
2
przebiega w obecnoci TiC, Ti
5
Si
3
i grafitu. Tym
mona tumaczy zmniejszenie iloci C w warstwach
zawierajcych Mn, w warstwach tych ilo faz Me-Si-C
jest najwiksza. W warstwie granicznej obecny jest
rwnie TiSi
2
, zdaniem autorw [5] faza ta jest krucha.
Wglikokrzemek tytanu ma bardzo dobre waciwoci
plastyczne: modu elastycznoci ok. 320 MPa, K
C
powy-
ej , m MPa 8 gsto ok. 4,5 g/cm
3
, twardo ok. 4
GPa [8], spenia zatem nie tylko rol warstwy bariero-
wej, ale rwnie moe przenosi naprenia termiczne
towarzyszce procesowi spajania z metalami.



Rys. 9. Charakter propagowanych pkni w warstwie Ti3SiC2 w tempe-
raturze 25 i 1100
o
C wg [8], SEM
Fig. 9. SEM images of the profiles of fatigue cracks propagating at:
a) 25
o
C and b) 1100
o
C in the coarse-grained Ti3SiC2
microstructure [8]
Zwizek ten posiada rwnie bardzo wysok odpor-
no na szoki termiczne oraz jest odporny na utlenianie.
Te waciwoci rwnie podwyszaj jako zczy
z metalem.
W stosowanych warunkach spajania (niskie cinie-
nie, atmosfera azotu) na ceramice z wglika krzemu

powstaje warstwa barierowa Ti
3
SiC
2
zwilana przez
luty wysokotemperaturowe. Zabezpiecza ona warstw
wierzchni ceramiki SiC przed dalsz dekompozycj
aktywnymi skadnikami lutw oraz uatwia relaksacj
napre wasnych termicznych generowanych w proce-
sie spajania.
LITERATURA
[1] Wosiski W., Olesiska W., Properties of AlN-metal joints
depending on the chemical composition of interlayers,
Advances in manufacturing science and technology, Polish
Academy of Sciences 2002, 26, 1.
[2] Tillman W., Lugscheider E., Xu R., Indacochea J.E., Kinetic
and microstructural aspects of the reaction layer at ceramic/
metal braze joints, J. Mater. Sci. 1996, 31, 45-452.
[3] Jian-Guo Li, Wetting of Ceramic Materials by Liquid Silico,
Aluminium and Metallic Melts Containing Titanium and
other Reactive Elements: A Review, Ceramics International
1994, 20, 391-412.
[4] Gottseling B., Gyarmati E., Naoumidis A., Nikel H., Joining
of ceramics Demonstrtrated by the Exemple of SiC/Ti, J.
Euro- pen Ceram. Soc. 1990, 6, 153-160.
[5] Xiao P., Derby B., The wetting of silicon nitride by chro-
mium-containg alloys, J. Mater. Sci. 1995, 30, 5915-5922.
[6] Park C.S., Zheng F., Salamone S., Bordia R.K., Processing
of composites in the Ti-Si-C system, J. Mater. Sci. 2001, 38,
3313-3322.
[7] Wu E., Kisi E.H., Kennedy S.J., Studer A.J., In situ neutron
powder diffraction study of Ti3SiC2 syntesis, J. Am. Ceram.
Soc. 2001, 84, 2281-88.
[8] Da Chen, Shirato K., Barsoum M.W., El-Raghy T., Ritchie
R.O., Cyclic fatique-crak growth and fracture properties in
Ti3SiC2 ceramics at elevated temperatures, J. Am. Ceram.
Soc. 2001, 84, 12, 2914-2920.

Spajanie ceramiki SiC i kompozytw Al2O3-SiC z metalami

369


Recenzent
Stanisaw Mazurkiewicz