Motor Electroestático

Universidad T
ecnica Federico Santa Mara

Departamento de Ingeniera Electrica
Campos Electromagneticos
Tarea 1
Dise
no y modelamiento de un motor
electrost
atico
Alumno:
Leonardo Ruiz Constenla
2623025 - k
Profesor: Alejandro Angulo Cardenas
Valparaso, 21 de marzo de 2012
Departamento de Ingeniera Electrica U.T.F.S.M.
ELI-215 Campos Electromagneticos
Indice
1. Introducci
on
2. Presentaci
on del trabajo
3. An
alisis preliminar
4. Definici
on del circuito equivalente
4.1. Ensayo 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.2. Ensayo 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.3. Ensayo 3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5. Simulaci
on
10
5.1. Simulacion con rotor de 8 pesta

nas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.2. Simulacion con rotor de 4 pesta
nas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.1. Motor con 2 = 52 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.2. Motor con 2 = 38 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6. An
alisis de simulaci
on
20
7. Conclusiones
23
LR
p
agina 2
1.
Introducci
on
La gran promesa y el interes que se tiene acerca de los sistemas micro-electromecanicos se basa
en su habilidad de producir movimiento mecanico a una escala muy peque
na. A este tama
no de
escala es mucho mas facil y ventajoso la implementacion de fuerzas electrostaticas que las fuerzas
magneticas. Es por esto que se han desarrollado una amplia variedad de tecnicas para poder lograr
la microactuacion.
Los motores construidos y algunos que estan en estudio, basados en la electrostatica, son com
unmente utilizados debido a su construccion simple y un menor requerimientos de materiales.
En este tarea se evaluara el dise
no del rotor de un micromotor, de manera de maximizar el torque
que este pueda producir.
2.
Presentaci
on del trabajo
En este estudio se buscara dise

nar el rotor de un micromotor electrostatico de capacitancia
variable, de manera de maximizar el torque logrado por este al estar excitado por una fuente de
tension de 100 V. La figura 1 muestra los valores de los parametros geometricos a analizar. Las
dimensiones del estator son fijas, y solo se buscaran valores para la forma del rotor(2 , p2 , rslot ),
teniendo en cuenta que se dispone de un disco de 50m de radio y un espesor de 2,2m. Tanto el
rotor como el estator estan fabricados de polisilicona en pelcula.
Figura 1: Referencia de la geometra del motor a analizar.
El analisis del motor se realizara utilizando el Metodo de los Elementos Finitos (FEM) utilizando el software FEMM acoplado con Matlab. Este analisis tendra como objetivo el calculo del
torque en funcion de la posicion del rotor, y la obtencion de un modelo de parametros concentrados
en base a las capacitancias del conjunto.
LR
p
agina 3
Basicamente se analizaran tres tipos de rotores, los cuales seran definidos mas adelante. Tomando
en cuenta el n
umero de pesta
nas a dise
nar, se puede pensar, que el movimiento que tendra el rotor,
al estar energizado un par de electrodos del estator, sera tal, que las pesta
nas mas cercanas a los
electrodos tenderan a alinearse con estos, para minimizar la energa de campo. Se puede pensar
entonces, que al estar alineados un par de pesta
nas del rotor, con los electrodos energizados del
estator, al energizar el siguiente par de electrodos, no convendra tener otro par de pesta
nas del
rotor alineados con estos, ya que no habra movimiento. Es por esta razon que se descarta el dise
no
de un rotor con 6 pesta
nas, debido a la identica simetra con el estator.
Es conveniente pensar en una cantidad par de pesta
nas, ya que se lograra una distribucion homogenea del conjunto. Por esta razon es que se escogera el analisis de tres tipos de rotores, uno
con 8 pesta
nas y otros dos con 4 pesta
nas de distinto ancho, como se muestra referencialmete en
la figura 2. Los valores de las variables 2 , p2 y rslot se entregan a continuacion en la tabla 1.
(a) Rotor de 4 pesta

nas
(b) Rotor de 8 pesta

nas
Figura 2: Motores a analizar

Los valores del cuadro 1 no fueron tomados al azar, ya que se tomaron varias simulaciones
considerando el cambio de la relacion entre el radio interno y externo del rotor, ademas de la anchura
LR
p
agina 4
Motor 8 pesta
nas
Motor 4 pesta
nas
Motor 4 pesta
nas
2 p2 rslot [m]
27 45
30
52 90
30
38 90
30
Cuadro 1: Valores de dise

no
(en grados) de las pesta

nas del rotor y los electrodos del estator. En definitiva, se intento seguir un
cierto patron al momento de cambiar la geometra del rotor, considerando las cantidades relativas
mostradas en el cuadro 2:
Relacion de radios Ancho electrodos
rslot
r2
1
p1
Ancho pesta
nas rotor
2
p2
Cuadro 2: Relaciones geometricas del motor
La relacion del ancho de electrodos es de 0.667, y si se piensa en un rotor con 8 pesta

nas p2 es
45, entonces un valor inicial de 2 , para poder comenzar a simular, es 30. Se simula el conjunto
con este valor y se determina dejar finalmente 2 en 27. La relacion que se elige para los radios
del rotor es de 0.6, obteniendo un rslot igual a 30 [m], manteniendolo en este valor para todos los
tipos de pruebas.
Para un rotor con 4 pesta
nas p2 es 90, entonces, si se sigue pensando en el patron de los
electrodos, se obtiene un 2 de 60. Al simular el conjunto, se determina disminuir el ancho de la
pesta
na de 52, el cual se elige para analizar los resultados, sin embargo se intenta otro caso con
un 2 = 38 para comparar la relacion del ripple con los casos anteriores.
LR
p
agina 5
3.
An
alisis preliminar
Se debe tener en cuenta que la energa almacenada en el modelo, al estar un par de electrodos
energizados es:
Welectrostatico =
CV 2
2
en donde C es la capacidad del conjunto y V es la tension de excitacion. Esto servira como un

comienzo para obtener los parametros equivalentes concentrados. Estos valores de C (capacitancias) se analizaran en el siguiente punto seg
un el modelo equivalente.
Usando el principio de trabajo virtual, el torque es encontrado por diferenciacion parcial de
energa con respecto al angulo de rotacion o posicion del rotor (), entonces:
T =
Welectrostatico
CV 2
V 2 C
=
=
2
2
El torque generado es una funcion de la posicion del rotor, y claramente dependera directamente
de la variacion de la capacitancia seg
un el angulo .
Cuando se obtengan la variaciones del torque en funcion de la posicion del rotor, en cada caso
de excitacion, se observara la manera ideal de excitar el conjunto para lograr los maximos positivos
de cada curva, obteniendo un patron oscilante y un valor medio de dicha curva, parametros que
seran usados para determinar la eficiencia del motor.
Entonces se deben encontrar las dimensiones optimas del rotor para maximizar el torque promedio, y minimizar el torque oscilante.
LR
p
agina 6
4.
Definici
on del circuito equivalente
Para determinar el circuito equivalente se tomo en cuenta que la excitacion del estator es de
a pares de electrodos, es decir, se alimentan los electrodos 1 y 4, luego 2 y 5, para finalmente
alimentar 3 y 6, todos ellos con respecto a tierra. Entonces se tienen 4 terminales, la tierra y 3
terminales de excitacion.
En cada caso de excitacion se podra considerar un valor de capacitancia constante, que pertenecera al valor de capacitancia mutua entre electrodos, y un valor de capacitancia variable, que
correspondera a la capacidad entre el par de electrodos energizados y el rotor que se encuentra
aterrizado. Tomando en cuenta esta suposicion, se obtiene el circuito equivalente mostrado en la
figura 3.
Figura 3: Circuito equivalente del micromotor.
En este circuito C1 , C2 , y C3 son las capacitancias variables de los electrodos 1 4, 2 5, y

3 6 respectivamente, y C11 , C22 , y C33 son las capacitancias mutuas del conjunto.
Para poder obtener el valor de los parametros del circuito equivalente, se simulara con FEMM
tres ensayos. En cada ensayo se excitara un par de electrodos del estator, y se cambiara la posicion del rotor de 0 a 180 (dada la simetra, los siguientes 180 seran identicos a los anteriores),
registrando los valores de torque y energa. A partir de la energa se obtendran los valores de la
capacitancia del conjunto, pudiendo determinar los valores del circuito equivalente.
LR
p
agina 7
4.1.
Ensayo 1
El primer ensayo consistira en energizar, con la fuente de 100 V , los terminales 14 del estator,
y el resto del conjunto se aterriza. El circuito equivalente de este ensayo se muestra en la figura 4.
Figura 4: Circuito equivalente del ensayo 1.
Con este ensayo se obtendra el valor de C1 , que es la capacitancia variable del par de electrodos
1 4 a tierra, y el valor de C11 y C33 . Si se considera que estos valores de capacidades mutuas del
conjunto practicamente no presentan variacion respecto de la posicion del rotor, y dada la simetra
del problema, se pueden considerar iguales y constantes, por lo tanto, se esperara que el valor
medio de la curva que se obtendra en la simulacion correspondera a la suma de C11 y C33 .
4.2.
Ensayo 2
En este ensayo se energizaran los terminales 2 5 del estator, y el resto del conjunto se
conectara a tierra. El circuito equivalente obtenido de esta configuracion se muestra en la figura 5.
Con este ensayo se obtendra el valor de C2 que representa la capacitancia del par de electrodos
2 5 a tierra, ademas de obtener el valor de las capacidades C22 y C11 .
LR
p
agina 8
4.3.
Ensayo 3
Este ultimo ensayo consistira en energizar el par de electrodos 3 6, y el resto del conjunto se
conectara a tierra. El circuito equivalente de este ensayo se muestra en la figura 6.
En base a este circuito, se podra determinar la capacitancia variable del par de electrodos 3 6
a tierra (C3 ), y las capacidades C33 y C22 .
LR
p
agina 9
5.
Simulaci
on
Como se dijo anteriormente, la simulacion de este motor se realizo con la ayuda del software
de elementos finitos FEMM, acoplado con la herramienta Matlab. Basicamente mediante Matlab
se cambia la posicion del rotor del dibujo del conjunto en FEMM, obteniendo y almacenando los
valores del torque y energa en cada paso. Esto se realiza tres veces, energizando cada vez un par
de electrodos, como se explico en los ensayos anteriores.
Se simularan tres casos, el primero sera con el dise
no del rotor de 8 pesta
nas, el segundo con un
rotor de 4 pesta
nas y el tercero con 4 pesta
nas de distinto ancho que el anterior.
5.1.
Simulaci
on con rotor de 8 pesta
nas
Ensayo 1
En este ensayo se energizan los electrodos 1 4, y se obtienen los valores de torque, energa
y capacidad del conjunto seg
un la posicion del rotor, como se muestra en la figura 7.
12
2.5
12
x 10
4.25
x 10
2
1.5
4.2
1
4.15
We [J]
e [Nm]
0.5
0
0.5
4.1
1
1.5
4.05
from MST
from SE
2.5
0
20
40
60
80
100
120
140
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4
0
180
20
40
60
[deg]
80
100
120
140
160
180
[deg]
(a) Torque electromagnetico
(b) Energa
16
8.55
x 10
8.5
8.45
8.4
C [F]
8.35
8.3
8.25
8.2
8.15
8.1
8.05
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
[deg]
(c) Capacidad
Figura 7: Datos simulados ensayo 1 para rotor de 8 pesta

nas.
Ensayo 2
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2.5
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x 10
4.25
x 10
2
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4.2
1
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We [J]
e [Nm]
0.5
0
0.5
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from MST
from SE
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[deg]
80
100
120
140
160
180
[deg]
(b) Energa
16
8.55
x 10
8.5
8.45
8.4
C [F]
8.35
8.3
8.25
8.2
8.15
8.1
8.05
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
[deg]
(c) Capacidad

nas.
Ensayo 3
Para poder contrastar de mejor manera el torque producido por los tres ensayos, se muestran
en la figura 10 los tres torques producidos por cada par de electrodos energizados. De esta
manera se podra deducir un posible modo de alimentacion, de modo de obtener solo la parte
positiva de las curvas de torque electromagnetico.
De las curvas de capacitancia de las figuras 7, 8, y 9 se podra obtener el valor de los parametros concentrados de los circuitos equivalentes de cada ensayo, mostrados en las figuras 4, 5
y 6 respectivamente. Sin embargo por el momento no se realizara este calculo, ya que a
un se
debe comparar el comportamiento de los dise
nos del rotor mencionados anteriormente.
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4.3
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We [J]
e [Nm]
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0.5
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4.1
from MST
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120
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4.05
0
180
20
40
60
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[deg]
100
120
140
160
180
[deg]
(b) Energa
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8.6
x 10
8.55
8.5
8.45
C [F]
8.4
8.35
8.3
8.25
8.2
8.15
8.1
0
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40
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100
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140
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180
[deg]
(c) Capacidad

nas.
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2.5
x 10
2
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1
e [Nm]
0.5
0
0.5
1
1.5
T orque14
T orque25
T orque36
2.5
0
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40
60
80
100
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140
160
180
[deg]
Figura 10: Torques motor 8 pesta

nas
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5.2.
Simulaci
on con rotor de 4 pesta
nas
5.2.1.
Motor con 2 = 52
Ensayo 1
12
12
x 10
x 10
5.5
5
2
0
We [J]
e [Nm]
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3
4
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from SE
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(b) Energa
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C [F]
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0
20
40
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120
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160
180
[deg]
(c) Capacidad

nas.
Ensayo 2
Ensayo 3
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x 10
6
from MST
from SE
x 10
5.5
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4
2
We [J]
e [Nm]
4.5
4
3.5
3
2
2.5
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1.5
0
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20
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60
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[deg]
100
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140
160
180
140
160
180
[deg]
(b) Energa
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x 10
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C [F]
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[deg]
(c) Capacidad

nas.
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x 10
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from MST
from SE
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5.5
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2
We [J]
e [Nm]
4.5
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3.5
3
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2.5
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0
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80
100
120
140
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1.5
0
180
20
40
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[deg]
80
100
120
[deg]
(b) Energa
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C [F]
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0
20
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100
120
140
160
180
[deg]
(c) Capacidad

nas.
LR
p
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Para poder contrastar de mejor manera el torque producido por los tres ensayos, se muestran
en la figura 14 los tres torques producidos por cada par de electrodos energizados. De esta
manera se podra deducir un posible modo de alimentacion, de modo de obtener solo la parte
positiva de las curvas de torque electromagnetico.
Como conclusion de estos ensayos, se puede decir que el dise
no del rotor de 4 pesta
nas es
mucho mejor que el dise
no de 8, ya que el torque logrado es el triple del anterior, y tiene
un menor ripple. Cabe destacar que luego de reiteradas pruebas con otros anchos de 2 , se
decide que con 52 de ancho la solucion es optima. En la figura 15 se muestra el resultado de
los torques obtenidos con un 2 = 30. Al comparar estas curvas se puede observar el efecto
que tuvo la disminucion del ancho de 2 en 8, ya que se aprecia una disminucion del ripple,
y un peque
no aumento del valor de torque maximo.
12
x 10
e [Nm]
2
T orque14
T orque25
T orque36
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0
20
40
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100
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160
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[deg]

nas con 2 = 52
LR
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e [Nm]
2
T orque14
T orque25
T orque36
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0
20
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100
120
140
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180
[deg]

nas con 2 = 60
LR
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5.2.2.
Motor con 2 = 38
Ensayo 1
Ver figura 16.
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x 10
5.5
5
4.5
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We [J]
e [Nm]
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0
2
3.5
3
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from MST
from SE
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40
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100
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[deg]
(b) Energa
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C [F]
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160
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[deg]
(c) Capacidad

nas 2 = 38.
Ensayo 2
Ver figura 17.
Ensayo 3
Ver figura 18.
Torques con 2 = 38
Ver figura 19.
Capacidades con 2 = 38
Ver figura 20.
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We [J]
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from MST
from SE
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(b) Energa
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C [F]
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[deg]
(c) Capacidad

nas 2 = 38.
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x 10
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from MST
from SE
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We [J]
e [Nm]
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(b) Energa
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[deg]
(c) Capacidad

nas 2 = 38.
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e [Nm]
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T orque36
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[deg]

nas con 2 = 38
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Capacidad36
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160
180
[deg]
Figura 20: Capacidades motor 4 pesta

nas con 2 = 38
LR
p
agina 19
6.
An
alisis de simulaci
on
Como se pretende obtener los parametros equivalentes de los circuitos definidos anteriormente,
se procede a estimar los valores de las capacidades basandose en los resultados simulados de la
capacidad del conjunto.
Solo se analizaran los valores obtenidos en la simulacion del rotor con 2 = 52, ya que el analisis
para el resto es identico.
En la figura 21 se puede observar que las tres se
nales son identicas en magnitud y estan desfasadas
en un angulo igual a la separacion de las pesta
nas del motor.
16
11
x 10
10
9
e [Nm]
8
7
6
Capacidad14
Capacidad25
Capacidad36
4
3
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
[deg]
Figura 21: Capacidades de motor de 4 pesta

nas con 2 = 52
De la figura 21 se puede deducir que es la suma de dos se

nales, una se
nal oscilante entre un
valor maximo de 10.8 [pF ] y un valor mnimo de 4 [pF ], ademas de otra se
nal de un valor continuo
de 7.4 [pF ].
La se
nal oscilante es el valor de las capacidades C1 , C2 , y C3 , que correspondera a una curva de
amplitud 3.4 [pF ]
La se
nal continua correspondera al paralelo de las capacidades mutuas de cada ensayo, y si estas
se consideran practicamente constantes, entonces el valor de C11 , C22 , y C33 es 3.7 [pF ].
Con respecto al ripple del torque, se observa en la figura 22 los datos correspondientes al valor
maximo Tmax , mnimo Tmin y medio Tav , que son 5.676 [pN m], 4.4 [pN m], y 5.04 [pN m] respectivamente.
LR
p
agina 20
12
x 10
8
e [Nm]
T orque14
T orque25
T orque36
5.676E12
6
X: 54.45
Y: 5.043e012
4
4.4E12
3
10
20
30
40
50
[deg]
60
70
80
90
100
Figura 22: Ripple del motor de 4 pesta

nas con 2 = 52
Si se toma en cuenta el ndice:

I=
Tav
Tmax Tmin
el valor de I con 2 = 52 es de 3.9.

Tomando en cuenta los torques obtenidos del ensayo con 2 = 38, se muestran en la figura
23 los valores Tmax , Tmin y Tav , en donde se puede apreciar que el ripple es mas peque
no, y la
amplitud de la oscilacion disminuye.
El valor de I en este caso resulta ser de: 5.766.
LR
p
agina 21
12
x 10
8
T orque14
T orque25
T orque36
7
5.926E12
e [Nm]
6
X: 30.83
Y: 5.341e012
5E12
10
20
30
40
50
[deg]
60
70
80
90
Figura 23: Ripple del motor de 4 pesta

nas con 2 = 38
LR
p
agina 22
7.
Conclusiones
Dados los avances en las nanotecnologas, resulta interesante darse cuenta de que el uso de
la electrostatica en estos rangos de longitud resulta mas eficiente y facil (entrecomillas) de
aplicar que el electromagnetismo.
Para poder dise
nar el rotor de este micromotor, se debe tomar un procedimiento adecuado
con la finalidad de analizar las variables del problema correctamente, as como definir un
circuito equivalente, que modele el funcionamiento de la maquina, determinar sus parametros, para luego poder resolver y deducir, bajo estos parametros concentrados, el completo
funcionamiento del motor.
Una vez terminada la simulacion, se puede dar cuenta de que parametros se pueden variar,
bajo que valores y condiciones. Ademas, es conveniente definir ciertas relaciones geometricas
para poder tener un punto de referencia a seguir y comparar estas relaciones con distintos
tipos de motores, para lograr determinar una relacion optima que se cumpla en el general de
los casos.
Se percato de que al variar el ancho de 2 el ripple del torque disminua o aumentaba en la
misma relacion en que se cambiaba este valor.
Seg
un las caractersticas de las intersecciones de las curvas de torque, se puede definir la
manera optima de excitar el conjunto, ya que cada punto de interseccion correspondera al
cambio de excitacion de un par de polos a otro del estator, de manera de obtener el menor
ripple, y un mayor torque medio.
LR
p
agina 23

Motor Electroestático

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Universidad T

ecnica Federico Santa Mara

Profesor: Alejandro Angulo Cardenas

Valparaso, 21 de marzo de 2012

Departamento de Ingeniera Electrica U.T.F.S.M.

ELI-215 Campos Electromagneticos

5.1. Simulacion con rotor de 8 pesta

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ELI-215 Campos Electromagneticos

En este estudio se buscara dise

Figura 1: Referencia de la geometra del motor a analizar.

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(a) Rotor de 4 pesta

(b) Rotor de 8 pesta

Figura 2: Motores a analizar

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ELI-215 Campos Electromagneticos

Cuadro 1: Valores de dise

(en grados) de las pesta

Cuadro 2: Relaciones geometricas del motor

La relacion del ancho de electrodos es de 0.667, y si se piensa en un rotor con 8 pesta

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ELI-215 Campos Electromagneticos

en donde C es la capacidad del conjunto y V es la tension de excitacion. Esto servira como un

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ELI-215 Campos Electromagneticos

Figura 3: Circuito equivalente del micromotor.

En este circuito C1 , C2 , y C3 son las capacitancias variables de los electrodos 1 4, 2 5, y

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ELI-215 Campos Electromagneticos

Figura 4: Circuito equivalente del ensayo 1.

Figura 5: Circuito equivalente del ensayo 2.

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ELI-215 Campos Electromagneticos

Figura 6: Circuito equivalente del ensayo 3.

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(a) Torque electromagnetico

Figura 7: Datos simulados ensayo 1 para rotor de 8 pesta

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(a) Torque electromagnetico

Figura 8: Datos simulados ensayo 2 para rotor de 8 pesta

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(a) Torque electromagnetico

Figura 9: Datos simulados ensayo 3 para rotor de 8 pesta

Figura 10: Torques motor 8 pesta

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(a) Torque electromagnetico

Figura 11: Datos simulados ensayo 1 para rotor de 4 pesta

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(a) Torque electromagnetico

Figura 12: Datos simulados ensayo 2 para rotor de 4 pesta

(a) Torque electromagnetico

Figura 13: Datos simulados ensayo 3 para rotor de 4 pesta

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Figura 14: Torques motor 4 pesta

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