FI 3003

Unidad 3: Tcnicas de Vaco

En esta unidad Ud. se familiarizar con los aspectos ms comunes de la tecnologa de
vaco.
TECNICAS DE VACIO:
1. PROPIEDADES DE LOS GASES.
Conozca los siguientes conceptos (antelos en su cuaderno):
1. Flujo turbulento.
2. Flujo viscoso.
3. Flujo molecular.
4. Vaco grueso.
5. Vaco fino.
6. Vaco alto.
7. Vaco ultra alto.
8. Composicin del aire atmosfrico (copie o pegue una tabla).
9. Copie o pegue una tabla con factores de conversin de presin en diferentes unidades.
Busque criterios numricos simples para identificar los flujos y tipos de vaco (Catlogo
Leybold, se encuentran varias copias en el laboratorio). Fotocopie o escanee el diagrama de la
pg. 158 de O`Hanlon u otro similar y pguelo en su cuaderno. Hay adems informacin en la
WEB.
Aplicaciones
Indique brevemente por qu (motivos fsicos) es necesario el vaco en las siguientes aplicaciones:
1. Fsica de altas energas.
2. Bajas temperaturas.
3. Evaporacin de materiales (pelculas delgadas).
4. Fsica de superficies.
5. Averige al menos una aplicacin industrial en que se necesite vaco.
2. PREVACO Y BOMBAS ROTATORIAS.
Conocimientos tericos (Anote todo en su cuaderno).
Durante los primeros segundos de aspiracin desde presin atmosfrica el rgimen puede
ser turbulento, para pasar rpidamente a flujo laminar. La cantidad de gas aspirada por unidad de
volumen es funcin de la capacidad de la bomba (expresada en m3/h) y la impedancia de las
tuberas y conexiones.
Puesto que el gas es aproximadamente ideal y el proceso aproximadamente isotrmico, el
nmero de moles es n =PV/RT y la cantidad de gas que pasa a travs de una seccin por unidad
de tiempo, medida en moles, es:
dn /dt=(1/RT)PdV/dt
Puesto que en general se opera a temperatura constante, en tecnologa de vaco es comn definir
el flujo como
Q=PdV/dt

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magnitud que tambin mide la cantidad de gas que atraviesa la seccin por unidad de rea. Por
analoga con los circuitos elctricos se relaciona el flujo a travs de un sistema con la diferencia
de presiones entre sus extremos definiendo la conductancia C por:
Q=C(P2-P1)
con la salvedad que C puede depender de P.
i) Busque en un libro la expresin para la conductancia de una tubera de largo L y dimetro
D en rgimen viscoso. La solucin es ms elaborada que la que Ud. posiblemente vio en
fsica del continuo, porque el fluido es compresible.
ii) Note que la conductancia anterior depende fuertemente del radio. Si ste se reduce a la
mitad cunto debera acortarse el tubo para que tenga la misma conductancia?
iii) Si bien es posible calcular la impedancia de las tuberas, en este curso, as como en la
mayora de las aplicaciones, es suficiente observar algunas reglas de sentido comn:
a) Las tuberas deben ser lo ms cortas posibles.
b) Deben evitarse en lo posible los codos con ngulos cerrados; las curvas suaves son
mejores.
c) Deben evitarse las obstrucciones y reducciones.
d) Idealmente, la tubera no debe ser ms angosta que la brida de aspiracin de la bomba
o la de salida del recipiente (slo si es muy larga puede convenir aumentar el dimetro).
iv) Defina la "velocidad de bombeo" o "capacidad de aspiracin" S y explique qu es.
v) Un recipiente de volumen V0 se aspira con una bomba cuya capacidad de aspiracin es S.
Note que el producto PV0 es una medida de la cantidad de gas contenida en el recipiente.
Demuestre que, en ausencia de fugas, la presin disminuye exponencialmente con el tiempo
segn
t=[V0/S]ln[P0/P(t)]
vi) Calcule t = tiempo para reducir la presin a un factor 1/1000, suponiendo V0 y S
razonables.
vii) Suponga ahora que el sistema tiene una fuga, representada por el ingreso a la cmara de
un flujo constante Qo
a) Encuentre P=P(t)
b) Demuestre que el sistema alcanza a lo ms una presin lmite Po y calclela.
c)Aplicacin numrica: dados el volumen (estmelo) de la campana que utilizar para
evaporar una pelcula metlica delgada, y la capacidad de aspiracin S nominal de la bomba
rotatoria, determine qu presiones se obtendran despus de 1h, 2h, 10h. Le parecen realistas
estos valores? Explique.
Para esta seccin sirve la referencia: Berman, cap 10.
Conocimientos terico-prcticos (Anote todo en su cuaderno)
1. Conozca el funcionamiento de una bomba rotatoria de paletas.
2. Distinga entre una bomba de una y dos etapas. En particular indique qu ventajas presenta
una sobre otra dependiendo de la aplicacin.
3. Indique en qu intervalo de presiones funciona cada una de ellas.
4. Qu propiedades debe tener el aceite lubricante?
5. Qu tipo de sello y sistema de unin debe usarse para conectar una pieza con otra en este

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dominio de presiones? Se puede usar un corcho o un tapn de goma para tapar una apertura?
Por qu?
6. Considere un gas de molculas monoatmicas (tomos de masa m y dimetro ) donde las
velocidades siguen una distribucin clsica de Maxwell Boltzmann (gas ideal).
a) Calcule el valor rms de la velocidad molecular como funcin de la temperatura T;
b) Calcule el camino libre medio que recorren las molculas entre dos colisiones como
funcin de Tla temperatura T, la presin P y , suponiendo = 0.5 nm. Cunto vale
(300) (a 300 K) para P = 1 atm? (300) para P = 10-6 atm? (300) para P = 10-12 atm?
3. VACO ALTO Y MEDICIN DE PRESIONES.
Alto vaco y bombas difusoras (anote en el cuaderno).
1. Considere un recipiente de 10 l, sobre cuyas paredes se encuentra adsorbida una capa
monomolecular de gas.
i) Calcule el nmero de molculas adsorbidas, suponiendo que cada tomo en la superficie
acta como un sitio de adsorcin.
ii) Calcule el nmero de molculas en el volumen a temperatura ambiente.
iii) Calcule el cuociente entre el nmero de molculas en las paredes y el nmero de
molculas en el volumen.
iv) A qu presin empieza a predominar el efecto de las molculas adsorbidas? Note que
esto significa que el proceso de bombeo a bajas presiones no consiste solamente en evacuar
el gas del volumen del recipiente, sino de las paredes. Minimizar la evolucin de gases por
medio de la seleccin de materiales apropiados es la mejor estrategia.
2. Explique el principio fsico de funcionamiento de una bomba difusora (con dibujo).
3. Explique porqu la bomba debe ser respaldada por una bomba mecnica e indique la presin
mnima de operacin.
4. Enumere las caractersticas deseables del fludo de la bomba.
5. Explique los conceptos de
(a) corriente de retorno (Backstreaming)
(b) Pantalla (Baffle)
(c) Trampa fra (Cold trap).
6. Otras bombas.
Describa tres de las siguientes bombas (principio fsico de funcionamiento y condiciones bsicas
de operacin)
a) Bomba turbomolecular.
b) Bomba de sublimacin de titanio.
c) Bomba inica.
d) Bomba de arrastre" (drag pump).
f) Bomba criognica.
g) Bomba de adsorcin seca ("dry getter"). Vea la informacin en el manual de la firma
SaesGetters (www.saesgetters.com).

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Medicin de presiones.
a) Explique qu se entiende por medicin directa (o absoluta) e indirecta de presiones.
b) Describa el funcionamiento de un instrumento capaz de medir presiones absolutas.
c) Describa el principio de funcionamiento de uno de los siguientes medidores de presin y en
qu intervalo de presiones funciona:
c1) Termopar (thermocouple gauge, frecuentemente mal traducido como "termocupla")
c2) Convectron.
Explique el funcionamiento de uno de:
a) Penning (Cold Cathode Gauge).
b) Explique el funcionamiento del medidor de ionizacin o Bayard Alpert.
c) En el CERN, existe un acelerador de 27 Km de longitud, denominado Large Hadron Collider o
LHC, que entr en operacin el 2010 y permiti el 2011 la primera deteccin del bosn de Higgs.
Para que esto fuese posible, se requiere que la vida media del haz de protones inyectado en el
tubo del acelerador (27 Km de longitud, unos 10 cm de dimetro interno), sea de
aproximadamente 4 horas. Esto significa que la intensidad del haz de protones en el colisionador,
disminuye a un valor 1/e = 1/2.73.despus de 4 horas. Estime el camino libre medio de los
protones (300) en el sistema de vaco del LHC, y estime el vaco promedio, medido en
atmsferas. Para ello suponga que los protones acelerados a 1 TeV se mueven a la velocidad de
la luz.
4. EVAPORACIN DE UN MATERIAL
En esta seccin Ud. deber evaporar una pelcula de un material a especificar (seguramente
aluminio) sobre un substrato aislante (portaobjetos de vidrio). Los detalles relevantes a la preparacin
del experimento se entregarn directamente en el laboratorio, porque la tcnica depende del material
a evaporar.
a) Puesto que Ud. usar un equipo de vaco, deber estar familiarizado con su funcionamiento.
Para esto, lea el libro de O`Hanlon pgs. 251-257. A diferencia de las secciones anteriores, no se
da aqu una lista detallada de temes: Ud. mismo debe escribir en su cuaderno los aspectos
relevantes (los SI y los NO).
b) Debe existir un diagrama con el esquema de un equipo de vaco con bomba rotatoria, difusora
y vlvulas que Ud. usar, adosado al sistema (si no esta, hgalo Ud.!) Los smbolos del diagrama
estn definidos en el manual ``Vacuum Technology" de la firma Leybold, en el laboratorio,
pgina HB71, as como en
http://www.huntvac.com/tech_libr/tech_libr.html
y otras fuentes. Ud. debe explicar en qu orden se operan estos elementos y en qu oportunidad, tanto
para encender como para apagar. Para evitar fallas catastrficas, Ud. slo podr hacer el experimento
despus de mostrar que sabe cmo operar el equipo.
Averige algunas propiedades bsicas del aluminio:
-punto de fusin,
-temperatura a la cual su presin de vapor es igual a 1 Pa (se considera que a esa temperatura evapora
rpidamente)
-conductividad elctrica a temperatura ambiente.
La informacin est en el manual "Balzers" en la sala de computacin, material de referencia, o en
internet, si sabe buscar.

La muestras se evaporan a travs de una mscara de molibdeno (es cara y difcil de fabricar) que Ud.
debe limpiar suavemente con lija al agua antes de usar.

Bibliografa
1. O`Hanlon: A Users Guide to vacuum technology. Hay un ejemplar en la biblioteca y uno
en el laboratorio. Una verson ms moderna se puede descargar de
http://rapidshare.com/files/145230457/augckawwwr30471270520.rar
2. Manual Leybold: en el laboratorio. No se puede retirar.
3. Berman: Vacuum Engineering calculations, formulas and solved exercises. Hay un
ejemplar en el laboratorio, no se puede retirar.
4. Stuart, Vacuum Technology, thin films and sputtering.
5. Mutual Chilena de Seguridad http://www.mutualseg.cl/
6. Tablas de conversin de unidades (dinmica)
http://www.anver.com/document/company/Reference%20Guides/vacuum.html
7. Austin Chambers, Modern Vacuum Physics, Boca Raton : Chapman & Hall/CRC, c2005,
ISBN 0849324386. No se puede retirar.
Smbolos usados en
vaco http://www.huntvac.com/tech_libr/tech_libr.html
Web-based resources in Surfaces and Thin Films
http://venables.asu.edu/grad/appweb1.html
Minicurso de vacio
http://www.mines.edu/fs_home/cwolden/chen435/Lectures/lecture5/,y
http://www.mines.edu/fs_home/cwolden/chen435/Lectures/lecture6/
Por qu el ultrasonido limpia? Vea el artculo de K. S. Suslick en Scientific American, Febrero
1989, p62