Aufgabe 123 S1

1 In Abbildung 1 ist eine sogenannte Ionen-Implantier-Anlage dargestellt, die sich in

einem groen Vakuumgef befindet. In dieser Anlage wird die Oberflche eines
Werkstcks aus Halbleitennateriai mit Ionen des Elementes Bor beschossen.

Die Ionenquelle erzeugt einen Strahl einfach positiv geladener Bor-Ionen. Er besteht
aus den Isotopen 1DB+ der Masse m, = 10-u und nB+der Masse m2 = 1t u .
In der lonenquelle werden diese Ionen aus der Ruhe heraus beschleunigt. Die
Beschleunigungsspannung betrgt Uo = 11,0 kV.

1.1 Begrnden Sie, dass alle Ionen beim Austritt aus der lonenquelle dieselbe Energie
haben, und berechnen Sie diese Energie in den Einheiten Elektronenvolt und Joule,
1.2 Berechnen Sie die Geschwindigkeit Vj der 10B+-Ionen und die Geschwindigkeit v 2
der nB+-Ionen beim Verlassen der lonenqtielle.
2 Der lonenstrahl tritt an der Stelle P in den Bereich eines homogenen Magnetfeldes ein,
siehe Abb. 1. Darin werden die Ionen auf einen Kreisbogen gezwungen.
2.1 Fertigen Sie fr ein Ion im Magnetfeld eine vollstndige Krfteskizze an. Geben Sie
die Richtung der Feldlinien an, und zeichnen Sie den Geschwindigkeitsvektor ein.
2.2 Die l0B+-Ionen sollen im Magnetfeld einen Viertelkreis mit dem Radius rj = 10 cm
durchlaufen. Sie verlassen das Feld an der Austrittsstelle Q durch eine Lochblende.
Der lt>B+-lonenstrahl geht durch den Mittelpunkt der Blendenffnung.
Berechnen Sie, auf welchen Wert die magnetische Flussdichte eingestellt werden
muss.
2.3 Die 1IB+-Ionen werden durch das eingestellte Magnetfeld auf einen Kreisbogen mit
dem Radius r? abgelenkt.
Zeigen Sie, dass folgende Beziehung gilt U)

2.4 Der Durchmesser der Blendenffnung betrgt b = 4 mm. Untersuchen Sie mit Hilfe
von Gl. (1), ob die nB+-Ionen das Magnetfeld durch die Blendenffnung verlassen
knnen.
Aufgabe 123 S2
3 Im Beschkunigungskondensator nach Abb. 1 sollen die mit v, = 4,60-lO5^1 Punkte
eintretenden 'B'r-Ionen auf eine hhere Geschwindigkeit gebracht werden.
Berechnen Sie, welche Spannung Ub angelegt Werden muss, damit die ,cB*-Ionen
den Kondensator mit der Geschwindigkeit v =*1,24 106 ^ verlassen. 3
4 Mit dem Ablenkkondensator kann der Ionenstrahl ber das Werkstck gefhrt
werden. Der Strahl tritt in der Mitte des Plattenabstandes d ein - siehe Abb. 1.
Der lonenstrahl soll so abgelenkt werden, dass die Ionen den Ablenkkondensator
gerade noch verlassen knnen, ohne auf die Kondensatorplatten zu treffen.
Berechnen Sie den zulssigen Maximalwert Uy der Ablenkspannung Uy allgemein
6
und mit ZahJenwerten.
5 Der loB+-lonenstrahl ist ein elektrischer Strom, dessen Stromstrke 1B= 0,32nA
experimenid) bestimmt wurde.
5.1 Berechnen Sie die Anzahl Nn der Ionen, die pro Sekunde auf die Oberflche des 2
Werkstcks auftreffen.
5.2 Die Zahl N der Ionen nimmt beim Eindringen in das Werkstck durch Absorption
mit zunehmender Eindringtiefe x ab.
Dies ist nherungsweise in Abb. 2 dargestellt.

Entnehmen Sie dem Schaubild folgende Informationen:

Bei der mittleren Eindringtiefe x m sind 50 % der Ionen absorbiert worden.
Wie gro ist diese Tiefe xmbei der vorliegenden Apparatur?
In welcher Eindringtiefe kommen noch etwa 1,4-109, Ionen pro Sekunde an?
Wie viel Prozent der Ionen sind in einer Schicht der Dicke x = 3 xmschon
absorbiert worden?
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Aufgabe 123 S3
I.] Alle Ionen haben dieselbe Energie, da nach dem EES fr jedes beschleunigte
Teilchen unabhngig von seiner Masse gilt: Wkin= Wel.
Die Energie betrgt W = 11keV , da die Beschleunigungsspannung 11,0 kV betrgt.
W = 11 keV = 11 103eV=l 1- IO3 1,6 IO'19As - V =1,76 10'I5J

1.2 1 2 f1 |2-e-U 0 [2'1,6-10_19As-11000V ,^ iri5 m

m, vz = e- U0 v , = J a = J ----ift i --_27i--------= 4,60-IO5
m 10-1,66 10 kg

ebenso erhlt man v2 =4,39-105

s

2.1 2.2 2.1

2
mi vi
- ! = e - Vj -d
B <=> D m,
B - 1 - V]
r, e - r.

10'1,66-10^'k g -4,60 10J 2.2

/ B- B = 0,48 T 3
l,6 1 0 _19As -0,1 m

2.3 Aus 2.2 folgt B e r, = mj Vi . Da B konstant ist, gilt auch B e r2 = m2 v2

_Ea_Iz . Aus der Beziehung W =m - v3 folgt durch Erweitern:
2 =
Daraus folgt
mi vi
2 ^
(ui] V]} = 2 W ni] bzw. (m 2*v2) = 2 W m2 mit derselben Energie W (s.
f^ \
= ^ a .= qed
1.1). Durch Einsetzen erhlt man
\i\ J 2 -W-m! m| r, \ m,

llu
2.4 Mit Zahlen werten ist r2 = T| r2 =l,05-r] r2 = 10,5 cm. Da die
10-u
Blendenffnung nur 4 mm Durchmesser hat, kann der ^BMonenstrahl das
Magnetfeld nicht durch die ffnung in der Lochblende verlassen.

Nach Aufg. 1.2 entspricht die Geschwindigkeit v, = 4,60 105^ der 1!1B+-Ionen einer
Energie von 11,0 keV. Die Energie Wtjn = 1,28- ) 0 14 J ist Wkin= 80keV . Die
o .T L i n AWjdn 8 0 k e V -llk e V IT
Spannung Ub betragt also UB = ---- = -------------------- => UB = 69 kV ,
e e
Aufgabe 123 S4

Berechnung der Ablenkung yi bei Verlassen des

Kondensators:

E, E-e v -e
yi a yt mit ay= =
m. m, d m.

1 u e ( f \2
und mit t = yi - -
v 2 d m, \ v j

1 v e f fV d2>v2*m,
yi soll sein Uv -
2 2 d- LLI, \vj e -ia

dj2^.vv2.
-m, (0,005 m)2 -(l,24-106f ) 10 1,66 10 27kS
Zahlenwerie: U = --------- iL
y e-^2 l,6-10l9As-(0,8m)'
Uy = 623 V
1

5.1 / = J L i /* 0,32-10 2
A'o = ---- = _ ,_1Q ,------= 2,00-10
r t 1 ,6 _ 1 9 A y

5.2 Ablesungen aus dem Diagramm:

N
* = 50% bei x = 75 nm
--------------------
N 1,4- 10y
= 0,7 - 70 % bei etwa x = 40 nm
N0 2,00 10J
N
bei x = 3-xm =3-75 nm = 225 nm : = 14% , d.h. es sind 86 %
An
absorbiert !
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