RESUMEN ARTÍCULO.

TWO-POLYMER MICROTRASNFER MOLDING FOR HIGHLY LAYERED

MICROSTRUCTURES.
MOLDEO POR MICROTRANSFERENCIA DE DOS POLIMEROS PARA
MICROESTRUCTURAS ALTAMENTE ESTRATIFICADAS.

Permiten la creación de artefactos tridimensionales con funciones no posibles en

dispositivos planos.

Altas demandas de microestructuras altamente estratificadas.

Aplicaciones: huesos artificiales, sistemas microfluídicos integrados, circuitos ópticos

integrados a base de polímeros, cristales fotónicos y reactores catalíticos.

Nuevos enfoques para la Fabricación de microestructuras 3D como alternativas a la

fotolitografia convencional:
- Moldeo por micro transferencia
- Polimerizacion de dos fotones
- Litografia holográfica
- Impronta nano.

MOLDEO POR MICROTRANSFERENCIA:

** Estructuras 3D no-periódicas., bajos costos, compatibilidad con muchos materiales,
flexibilidad en el diseño y bajos costos.

Moldeo por microtransferencia tradicional : Prepolimeros liquidos llenan

microcanales formados en la superficie de un molde elastomerico (Elastomero:
materIales formados por polímeros mediante enlaces químicos, adquiriendo una
estructura final ligeramente reticulada) . El pre-polimeros se solidifica en el molde
cuando entra en contacto con el sustrato. Luego la estructura es transferida al
sustrato, removiendo el molde flexible.

A pesar de que tiene muchas ventajas, el prepolímero de relleno no curado puede

mancharse fuera de los canales por capilaridad cuando se pone en contacto con un
sustrato. Esto deteriora la fidelidad estructural y requiere un paso de procesamiento
adicional para eliminar el polímero no controlado, como el grabado de iones reactivos.
El curado parcial del prepolimero cargado es eficaz para evitar la absorción capilar
dado que el curado parcial aumenta la viscosidad del prepolimero. Sin empargo, el
prepolimero no curado todavía esta presente para asegurar una fuerza de unión
suficiente.

El desafío está en: minimizar la capilaridad capilar mientras se maximiza la fuerza de

unión.

**
Se describe un moldeo por microtransferencia de dos polimetos (2p-mTM) como un
método libre de residuos, con suficiente fuerza de unión entre capas para un alto
rendimiento y capilaridad capilar extremadamente baja para mantener la fidelidad
estructural.
Se emplean dos diferentes prepolímeros curables por UV uno como relleno y un
adhesivo para evitar las dificultades del moldeo por microtransferencia convencional
en la que un solo prepolimero realiza los dos roles (relleno y adhesivo)

Utilizan moldes de PDMS fundidos de un patrón hecho de un patrón de relieve de

fotorresistencia en una oblea de silicio. Una gota del primer prepolimero-A se coloca
justo fuera de un área estampada en un molde PDMS y se arrastra a una velocidad
constante con una cuchilla de metal controlada por actuadores mecánicos. El
prepolimero-A solo llena los canales sin ningún residuo. Este método de relleno lo
llaman “Mojar y arrastrar” (Wet-and-drag)WAD.

El relleno de prepolímero-A es curado parcialmente de manera que se solidifica y el

otro prepolimero-B recubre posteriormente en el prepolimero-A por un segundo
proceso de WAD.

Al colocar un sustrato sobre el molde y exponerlo a UV, la microestructura llena se

adhiere al sustrato y la estructura permanece sobre el sustrato después de despegar el
molde de PDMS.

Repitiendo los mismos procesos secuenciales utilizando una estructura pre-apilada

como sustrato, se pueden fabricar estructuras de cualquier cantidad de capas.

Para el prepolimero A se probaron una serie de prepolimeros curables por UV y se

encontró que su viscosidad afecta las características del llenado en WAD.
Para sus canales con diseño de 1,41 de ancho y 1,1 de profundidad. Un prepolimero de
poliuterano(PU), J-91 (Summers optical) con una viscosidad de cerca de 300cps, tiene
excelentes características de llenado.
Prepolimeros con mayor o menor viscosidad causaban un llenado desigual debido a la
redisposicion del prepolimero lleno dentro de los canales depues de WAD o la
formación de una capa gruesa sobre los canales, respectivamente.

A medida que una hota de poliuterano se mueve de un área sin patrón a un área con
sideño, los canales vacíos comienzan a llenarse en un limite frontal de la gota de
poliuterano y todos los canales debajo de la gota de PU están complentamente llenos
Cuando se prolonga el arrastre de PU, la deshumectacion de PU en la superficie
superior del molde comienza en el limite posterior de la gota de PU. Sin embargo, los
canales quedan llenos detrás de la línea de deshumediciento por que la energía
adhesiva del PU a la superficie PDMS modelada excede la energía de cohesion de la PU.
En el WAD, el papel de la cuchilla es solo para controlar el movimiento maro del
prepolimero, las propiedades de llenado están determinadas por las propiedades de
los polímeros y la forma de los patrones formados en el molde y no por el espacio o la
velocidad de la cuchilla.

El espacio utilizado fue de alrededor de 0,2mm para un mejor control del movimiento
de PU y este valor es aproximadamente 200 veces mayor que la profundidad de los
canales que se llenan.

Esta característica de deshumectacion espontanea permite a WAD producir un relleno

sin residuos y evitar cualquier daño físico o distorcion del molde de PDMS por
contacto directo de la cuchilla.

Cuando se usó nitrógeno de alta presión para eliminar el exceso de prepolímeros, a

menudo se observo pequeñas gotas dispersas de prepolimeros depues del soplado,
que fueron muy difíciles de eliminar incluso usando nitrógeno de alta velocidad.
Por el contrario, con WAD no se observo prepolimero residual. Esto puede ser debido
a la capacidad relativamente baja de PU para mojar una superficie sin patrón del
PDMS (Angulo de contacto 72º)

Se selecciona una velocidad de arraste de alrededos de 30 nms-1 por que una

velocidad mayor o menor causan una separación del prepolimero de la cuchilla o mas
hinchazón de PDMS por PU respectivamente.
Un solo WAD de PU es suficiente para lograr no-residuos. El método de llenado se
espera que sea escalable a dimensiones mas pequeñas.

Para el prepolimero B se usa un prepolimero de polimetacrilato (PA), SK9 (Summers

optical) por que PA satisface varios requisitos como material de unión: Muy baja
viscosidad (80-100 cps) para formar una capa delgada, suficiente fuerza de unión para
PU y vidrio, y una gran diferencia de energía superficial entre PDMS y PU.
Los angulos de contacto de PA y PU y PDMS son 8º y 54º respectivamente. Esta
diferencia proporciona la fuerza motriz para la humectación selectiva.
El segundo WAD con PA se realiza en el molde de PDMS lleno de PU después de
solidificar la PU por exposición a rayos UV. En WAD de PA el espacio de la cuchilla se
fija en el mismo valor (02mm) pero la velocidad de arastre se aumenta a 100nms-1
para minimizar la hichazon de PDMS por PA. Curiosamente se observo una
característica de autocuracion de WAD para PA. La autocuracion se logra a medida
que se adhiere mas PA alrededor de defectos locales en la superficie de PU.
La cantidad incrementada de PA, la fuerza de unión alrededos de los defectos se
refuerza significativamente, evitando la posible falla de adherencia de las estructuras
que se transfieren.
La auto.sanaciones indispensable para reducir las fallas porque limita los sitios de
defectos localmente. De lo contrario en algunos casos el separado de estructuras
generan defectos globales en la transferencia de la siguiente capa al obstaculizar un
contacto.
Controlar la cantidad de PA en el proceso de WAD es importante y critico para el alto
rendimiento. PA insuficiente o en exceso causa una mala adhesión o una indeseable
capa entre la estructura transferida y el sustrato.

Como cada capa individual en una estructura multi.capa fabricada consiste en 1600
varillas de polímero, simplemente definimos una tasa de error de transferencia que
divide el numero de varillas con fallas de transferencia por el numero total de varillas
a transferir. Entonces se establece una tasa de error aceptalbe de 10^-4. La tasa de
transferencia de error fue mucho mayor que la tasa de error de transferencia
aceptable cuando el PU cumpletado en el molde de PDMS estaba completamente
curado. Se encontró que la tasa de error de transferencia puede cumplir con la tasa
aceptable de error de transferencia al reducir el tiempo de exposición a la radiación
UV de la PU. Teorizan que los enlaces colgantes en la red de polímeros de la PU
parcialmente curada ayudan a retener mas PA. Para determinar la correlacion entre la
dosis de UV para curar PU y la cantidad de PA revesito, se añado un colorante rolo
(LDS 698,Exciton) a PA. Aquí se asume que la intensidad de fotoluminiscencia del
colorante dopado es linealmente proporcional a la cantidad de AP cuando la
concentración de dopaje en bajo . El dopaje con colorante no parece afectar la
funcionalidad del PA.
Despues de preparar oldes rellenos de PU donde la PU llena se expone a diferentes
dosis de UV, WAD se realiza con el PA dopado con colorante. Luego se miden las
intensidades de fotoluminiscencia, excitanto el tinte con un láser de ion de argón
La erlacion entre la cantidad de PA y la dosificación de UV a la PU no es monótona; La
intensidad de la fotoliminiscencia muestra un máximo de 0,9 J cm-2. No se consideran
dosis menores de 0,2 J cm-2 (Muestra que PU todavía tiene mucha fluidez lo que daría
com resultado capilaridad capilar y deterioro estructural ) por que PU es
aparentemente miscible con PA bajo un miscroscopio óptico cuando la dosificación es
menor .

El rendimiento de transferencia fue suficientemente alto para apilar microestructuras

de capas elevadas al tiempo que se satisfacía la tasa de error de transferencia
aceptable para la dosis en un rando de 0,45 a 2,7 J cm-2.
Para dosis fuera de este rando, el rendimiento de transferencia cae precipitadamente.
En el rando aceptable, la dosis minima, 0,45 J cm-2, se considera la sodid UV optima
para 2p-nTM por que el esceso de PA puede dar como resultado una película delgada
no deseada sobre el sustrato, y un tiepo de curado mas corto es mejor para reducir el
tiempo total del proceso.

Si el área de la palicacion PA es mas ancha que el área de estructuras transferidas,

impedirá el procesaiento posterior. Para investigar la estructura de la película de PA y
sus características de unión, fabricamos una estructura de dos pacas sobre un sustrato
de vidrio que era primero recubierto con un polímero soluble en agua.
La sodificacion en PU fue de 0,45 J cm-2. Al disolver el polímero soluble en agua con
agua destilada, la estructura de dos capas de separdó fácilmente desde su sustrato, lo
que resulta una forma independiente de la estructura.
Las imágenes SEM de la superficie inferior de la estructura separada se muestran en la
Figura 4. En las micrografías, cada barra muestra bordes bastante claros sin exceso de
material. Interesantemente,
patrones circulares, que no se observaron antes de la DAG de PA en la Figura 2d, se
encontraron en la superficie de unión. Presumiblemente, estos patrones se originaron
en el aire capturado al hacer
contacto repentino con un sustrato o la contracción del curado de PAin.
Los restos planos en forma de disco de la Figura 4 confirman que la PU llena había
perdido su fluidez cuando se colocaba sobre el sustrato; de lo contrario, los patrones
hemisféricos se habrían formado.
A partir de los patrones, podemos inferir que el recubrimiento de PA es uniforme y
muy delgado en comparación con la altura de las barras de PU.

Para demostrar la viabilidad de 2P-lTM para microestructuras altamente

estratificadas, fabricamos una estructura de 12 capas (Fig. 5) con la dosis mínima
aceptable, 0,45 J cm-2. El área de la estructura fabricada era de 4 mm × 4 mm y la
orientación de cada capa era perpendicular a la de abajo. Después de la fabricación, la
estructura de 12 capas se cortó a lo largo de una línea de 45 ° con respecto a la
orientación de cada capa con una cuchilla de afeitar. La microestructura multicapa
sostuvo este corte con un daño mínimo, lo que indica una alta fuerza de unión.
De hecho, la alta fuerza de unión es bastante crítica en la técnica de lTM porque cada
sitio de unión de las capas preapiladas sufre tensión de tracción cada vez que un
molde de PDMS se despega al transferir capas adicionales. Las capas débilmente
adheridas pueden retirarse en cualquier etapa del proceso posterior. La estructura de
12 capas fabricada con éxito en la Figura 5 indica que cada capa tenía suficiente fuerza
de unión para resistir el procesamiento posterior.

Tenga en cuenta que la fabricación de múltiples capas mediante el uso de materiales

blandos como PDMS tendría límites inherentes a la precisión debido a las distorsiones
irregulares de los materiales blandos utilizados en el procesamiento.
La distorsión en 2P-lTM se investigó utilizando metrología de moiré-flecos, [20] y el
desajuste relativo del patrón fue menor que ± 0,5 lmmm-1. Aunque la inexactitud de
las distorsiones limitaría las aplicaciones de 2P-lTM para dispositivos de alta
precisión de gran área, aún sería tolerable para muchas otras aplicaciones.
En conclusión, desarrollamos 2P-lTM para proporcionar una ruta para la fabricación
de microestructuras altamente estratificadas con alto rendimiento y alta fidelidad
estructural. Mejoramos la consistencia de los procesos de fabricación controlando la
dosificación de UV para los prepolímeros fotocurables. La aplicación de dos
prepolímeros diferentes nos permite separar la unión y las funciones estructurales
logradas por un único prepolímero en lTM convencional. Al controlar por separado la
química y la aplicación de los prepolímeros, logramos ambos altos enlaces
fuerza y absorción capilar extremadamente baja. Además, el llenado exacto sin
residuos y el recubrimiento selectivo del prepolímero, confiando en las diferencias en
las energías de la superficie, se lograron eficientemente por WAD. Creemos que las
ventajas de 2P-lTM mejorarán la microfabricación en 3D para una variedad de
aplicaciones a la vez que conservan las ventajas del LTM convencional.