What is Spectroscopic Ellipsometry

What is Spectroscopic Ellipsometry
Sponsored by Semilab Semiconductor Physics Laboratory Jan 21 2019

The Ellipsometry is a total optical measurement method. This technique is used to
measure the change of polarization of light when passing through a medium. Due
to the layer structure during reflection the polarized light exhibits distortion, which
permits users to extract the material properties of the medium in this structure.

The distorted polarization can be established using a number of techniques in which
different optical components modulate the light polarization. Semilab employs the most
advanced rotating compensator layout, where a high­end, broadband compensator
introduces variable phase shift dependent on the rotation angle in order to establish the
ellipsometric elements spectrally.

Modeling and parameter fitting for the actual structure are required to extract the
thickness and the refractive indices values, this is because ellipsometry is an indirect
metrology. Semilab's Spectroscopic Ellipsometry Analyzer (SEA) software supplies a
wide scope of techniques to create models for the actual structures and powerful
algorithms to fit the model parameters to acquire the values of interest.

The Spectroscopic Ellipsometry measurement technique has a number of benefits.
Firstly, it is an optical method, meaning it is non­contact and non­destructive. Using a
multilayer structure the thickness and optical functions of each layer can be calculated.

It is based on measuring the phase shift of a light beam which travels through a layer
structure so it possesses high sensitivity, and the phase angle measurement does not
depend on the absolute intensity of light. Spectral information about the sample can be
obtained by utilizing white light sources and monochromators.

The ratio of the complex Fresnel reflection coefficients are measured by ellipsometry. It

P
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=17486
1
/5
What is Spectroscopic Ellipsometry

can be divided to an amplitude term as it is a complex number, and a phase shift term,
which corresponds to the ellipsometric angles, Ψ and Δ. These parameters contain the
physical properties of the layer structure, such as the layer thickness and refractive
index.

This is a transcendental and highly nonlinear equation, so it must be solved using
numerical techniques, on a model­based approach. The layer structure is considered
with thickness and optical functions in the model throughout this procedure. The relative
phase shift is determined and compared to measured quantities during a numerical
regression procedure.

Features
Non­contact and non­destructive optical measurements can be executed on:

Multi­layer samples
Single layer
Substrates
Obtained parameters: thin film thickness and optical properties

Applications
Porous layer
Photovoltaics
Bio
Laser diode

P
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=17486
2
/5
What is Spectroscopic Ellipsometry

Semiconductor
Organic
Optics
Lighting

Measurement Modes
Transmission Ellipsometry for transparent substrates
Generalized Ellipsometry for Anisotropic materials
Spectroscopic Ellipsometry for thin film thickness and optical functions, including
complex multilayer structures
Porosimetry: Measurements of pore size and porosity in thin films
Polarimetry
Reflectance & Transmittance vs. wavelength and incidence angle
In­situ measurement mode for real time control during deposition or etch process
Scatterometry vs. wavelength and angle of incidence
Mueller Matrix (11 or 16 elements) uniquely offered in combination with
Scatterometry for 3D anisotropic materials
Jones Matrix for simple anisotropic materials

This information has been sourced, reviewed and adapted from materials provided by
Semilab.

For more information on this source, please visit Semilab.

P
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=17486
3
/5
What is Spectroscopic Ellipsometry

Semilab Semiconductor Physics
Laboratory

Address

Prielle Kornélia u. 2
Budapest, H­1117
Hungary

Phone: +36 (1) 505 4690

Fax: +36 (1) 505 4695

Email: semilab@ semilab. com

Visit Website

Recent Tweets


SEMILAB is participating to Printed Electronics Europe in Berlin, April 11 & 12 and
will be on the AFELIM Booth, ­D… https://t.co/hWzdXFb1jj

Apr 10 2018 5:47am


SEMILAB as a member of AFELIM, French PE association, will be March 28, at the
Rencontres Electronique Imprimée.… https://t.co/uTbCbsL00T

Mar 27 2018 2:30am

P
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=17486
4
/5
What is Spectroscopic Ellipsometry

SEMILAB is in Chemnitz for the 10th European Workshop on Ellipsometry. Meet Dr
Peter Basa and his team.… https://t.co/vcIKMx9hI6

Mar 19 2018 12:01pm

View all tweets

Semilab Semiconductor Physics Laboratory designs, produces and sells metrology
equipment for the characterization of semiconductor and photovoltaic materials, for
monitoring the manufacturing process of semiconductor devices and solar cells, and also
for R&D purposes in these areas. Semilab offers a variety of measurement techniques;
most of them are non­contact and non­destructive. Many of Semilab's technologies can
be flexibly integrated in different platforms, ranging from simple handheld devices and
table­top systems with high resolution mapping capability to fully automated stand­alone
production control tools for mid­range and high­level fablines. Semilab also offers in­line
measurements for solar cell production lines.

Our strategy is to continuously improve our products, and to offer flexible solutions for our
customers' needs with high­value products for a reasonable price. To accomplish this,
Semilab employs more than 70 physicists and 90 engineers worldwide. Semilab also
participates in various international R&D projects, and Semilab has a frame agreement
for metrology development with IMEC, the largest international research center for the
development of semiconductor products.

Semilab carries out our work in a responsible way; Semilab provides various benefits to
our employees and support important cases such as scientific education.

P
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=17486
5
/5