Professional Documents
Culture Documents
=
1
+
2
= 2
2
1 + cos 2
1
=
2
Condiciones de interferencia
Sistema de Interferometra
Instrumento
Tcnica de
Anlisis
Modelo
Instrumentos
Interfermetro (Instrumento)
Es un dispositivo que aprovecha el fenmeno de
interferencia para estudiar una muestra.
Michelson
Fizeau
Mach-Zehnder
Fabry-Perot
Micro-Interferometra
Michelson
, =
1 2 3
4
5
1 2
, =
1
2 3
, =
21
3 2
2 5 , =
21
, =
1 2
, =
2
2 4
, =
22
4 2
2 5 , =
22
=
21
+
22
=
= 2
2
1 + cos 2 1 2
Pantalla
M1
M2
Laser
L1
L2
Fizeau
Detector
Fuente de luz
Divisor de haz
Placa de referencia
(semitransparente,
Altamente reflectiva)
Muestra
Recubrimiento
reflectivo
Mach-Zehnder
Fabry-Perot
.
White light interferometry
Micro interferometria
Mirau
Mismo Principio de Operacin que Interferometro Michelson
La principal diferencia es que el brazo de referencia est
dentro de un objetivo de microscopio.
Linnik
Empleado en microscopa y medicin de topografa de superficies.
Configuracin es la misma que interfermetro Michelson.
Tcnicas de Anlisis
Phase Shifting Interferometry
Phase Shifting Interferometry
Phase Shifting Interferometry
En la prctica la seal I() es obtenida de manera discreta como
una secuencia de cuadros fotogrficos. Como ejemplo,
supongamos la adquisicin de 4 muestras, con cuatro
incrementos de fase /2 comenzando en -3/4. Obtendramos:
( )*
Deteccin sincronizada
Phase Shifting Interferometry
Algoritmo para 3 incrementos de fase 90
Algoritmo para 3 incrementos de fase 120
Algoritmo para 4 incrementos de fase 90
Algoritmo para 5 incrementos de fase 90
Phase Shifting Interferometry
Algoritmo para 5 incrementos de fase arbitrarios
Para calcular el trmino de correcin
Phase Shifting Interferometry
Phase Shifting Interferometry
Phase Shifting Interferometry
Desenvuelto de fase
Phase Shifting Interferometry
Phase Unwrapping
Coherence Scanning Interferometry
Coherence Scanning Interferometry
DC
Deteccin de Envolvente
Coherence Scanning Interferometry
Coherence Scanning Interferometry
Coherence Scanning Interferometry
Aplicaciones
Profile measurement system based on linnik-type interferometric
microscope for visible-light region and infrared-light region
3D characterization of microstructured poly(methacrylic acid) thin
films via MachZehnder interference microscopy
3D characterization of microstructured poly(methacrylic acid) thin
films via MachZehnder interference microscopy
3D characterization of microstructured poly(methacrylic acid) thin
films via MachZehnder interference microscopy
Interferometric measurements of electric field-induced
displacements in piezoelectric thin films
Measurement of the thickness of thin films with rough surfaces by a
modified Michelson interferometer
Two-wavelength micro-interferometry for 3-D surface profiling
Algoritmo para 7
incrementos de fase
*Nd:YAG (=532 nm)
*HeNe ( =632.8 nm)
* eff=3.34 m
Two-wavelength micro-interferometry for 3-D surface profiling
Two-wavelength micro-interferometry for 3-D surface profiling
METROLOGY OF SILICON PHOTOVOLTAIC CELLS USING COHERENCE
CORRELATION INTERFEROMETRY
Low coherent Linnik interferometer optimized for use in Nano
Measuring Machines